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洁净室检测方法
发布时间:2022-07-26   点击次数:88次

一、测试目的

确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。

二、测试仪器

颗粒测试仪(品牌:美国 MET ONE空气粒子计数器),型号:HHPC2+HHPC3+HHPC6+3413342334113445、颗粒释放器。

三、测试位置

任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。

四、测试步骤

1 .在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上,让洁净环境达到一个稳定的水平。

2. 在抽取的测量点放好颗粒计数器,先做颗粒洁净度测试,记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量,连续测试数分钟,待取一个稳定的数据,此时,再将该房间的整个空调系统全部断电。

3. 在该房间内释放颗粒,使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10100倍。此时再启动空调系统,使其正常运行,测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间 。

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