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FFU的历史及其性能
更新时间:2014-12-19   点击次数:1873次

1. FFU的历史
早在二十世纪六十年代,*个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年,在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?
有三个问题占主导地位。
*:噪声问题。各位可以想一想,在当时的生产工艺水平下,5000台风机在一起的噪声会是多大呢?
第二:压力平衡。在很大的静压箱里,每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力,这在当时也是不能够得到保证的。
第三:维护问题。FFU本身造价就比较高,如果它的电机寿命不能保证的话,更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切,在1984年都发生了改变。先是噪声问题得到了控制,大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下,这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展,监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
现在,随着半导体电子技术的发展,越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。 *、灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二、可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三、负压通风。这是FFU的*特点。由于它本身能够静压,使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,的表现出节能、免维护等特点。
用大循环减少40%的运行成本。

2. FFU及其性能
FFU是FAN FILTER UNIT的缩写,中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器(过滤器(HEPA)或过滤器(PA))组合在 一起构成自身能动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的过滤器的送风口,自净器,层流罩等都是FFU的一种 。不过,现在所说的FFU是具有标准模数尺寸,能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同的洁净室的净 化单元设备。目前,、外常用的模数有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
FFU一般由以下四部分组成:风机、过滤器、机壳、电器控制元件。

3. FFU的应用
3.1适应性
3.2经济性
3.3风量和余压
3.4噪声
3.5控制
3.6维护管理

4. FFU节能分析
4.1 节能分析:
① 由于采用HH---F系统后,能使FFU在满足洁净要求的低风速运行,使FFU运行时的风机能耗降低
② 由于采用HH---F系统后,能使FFU在满足洁净要求的低风速运行,减小了电机发热,使洁净室
的冷负荷有效降低
电机参数: HP1/5 AC230 PH1 RPM1075
通过实测,我们发现,HH-F系统在保证洁净度要求的前提下对FFU风机进行调速,风速平均每降低0.02m/s,电机能耗降低10W左右,节能效果。
4.2 延长FFU寿命的分析:
采用HH---F系统能延长FFU的使用寿命,主要体现在二个方面:
① 延长过滤器的使用寿命 由于采用HH---F系统后,能使FFU在满足洁净要求的低风速运行,从而
使通过FFU的风量达到小,所以延长了过滤器的使用寿命
② 延长电机的使用寿命 实验证明当电机的工作温度过电机的高充许温度时,每升高8-10℃电
机绝缘的寿命就要降低一半。电机绝缘的老化,会引起电机匝间短路,从而使电机报废。使
用HH-F系统,能使FFU的电机在工作时发热明显减小。
4.3 节约线缆分析:
由于采用HH-F集散型智能控制系统,各个FFU的起停、调速全部由网络指令控制,不必为每一台
FFU设置单独的动力线路与控制线路,全部FFU使用一条统一的电源线,一条统一的系统总线即可。大大
降低了系统布线的投资及工作量。

5. FFU的选择
5.1试验方法和试验装置
5.2结果分析
(1)FU机组内的过滤器的初阻力均不相同,大约在120—150Pa之间。
(2)当过滤器为初阻力,且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时,不同FFU的机外余压均在100Pa左右,有的高达 130Pa。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,各机组的机外余压,都能在60Pa以上。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
(3)FFU的声压级噪声大多在57dB(A)~59dB(A)之间。比较好的其噪声在54dB(A)。
(4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有个别的能耗大,高达350W是一般能耗的一倍.

 

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