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空气洁净技术解决方案参考(三)

更新时间:2017-10-07点击次数:2664

三、洁净室的节能技术方案 

 

洁净室是能量消耗大户,这是因为要保持洁净的生产环境所必需的空气洁净等级、压差、温度、相对湿度要求;防止污染的交叉污染,洁净室内应根据产品的生产过程的要求排除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全室或局部排风装置,与此同时需向洁净室内送入相应的或必需的室外新鲜空气;根据不同的空气洁净度等级的要求需要有必须的换气次数和送风量。

据调查统计,大规模集成电路制造工厂洁净厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的50%左右。

 

如上所述,洁净厂房的耗能量是很大的,若洁净室精心设计,周密规划,节约能源、降低能量消耗也是可能的,节能的潜在容量不小。

 

针对洁净室、净化空调系统的运行节能问题,可以有以下几个解决方案:

 

1、洁净厂房内的工艺平面布置

 

尽可能采用洁净小室、洁净工作台层流罩、洁净隧道、微环境等方式,降低别洁净室面积,是减少能量消耗、节约能源的可行措施。证明,与传统生产环境相比,微环境洁净厂房的投资可节省40%,单单空气输送的费用可节省70%。

 

2、在进行建筑平面、立面设计时,应努力贯彻节能要求

 

洁净厂房的门窗设计的恰当与否,是降低洁净厂房建筑能耗的重要课题。这里先是控制好窗墙比,按洁净室的特点尽量减少外墙上的窗面积,其次是门窗构造的气密性要求和材料选择可靠,以确保门窗的保温(冷)效果和减少冷风渗透,防止“冷桥”现象的发生。

 

3、降低洁净室的热(冷)负荷的技术措施

 

(1)根据产品生产工艺要求,确定合适的洁净室内空气洁净等级和温度、相对湿度参数,在满足生产工艺的前提下,从节约能源的角度出发,按不同工序和房间的不同要求确定空气洁净度等级、温度、相对湿度参数,可能就低时尽可能采用较低的取值。

 

(2)在产品生产工艺者的密切配合下,地确定洁净室需设排风装置的房间或工序或生产设备的排风量,这是由于洁净室内排风量的增加,即意味着净化空调系统的补充新风量增加。厂房设计中有时会出现由于排风量的增加使净化空调系统的新风量大于规定的新鲜空气需用量,从而使设计的热(冷)负荷增加,因此,地确定洁净室内排风量是降低能量消耗的重要技术措施之一。

 

4、减少净化空调系统的送风量和降低系统阻力的技术措施

 

(1)按生产工艺要求的不同空气洁净度等级和不同的工作时间、班次合理划分净化空调系统。但在制订方案时应认真考虑减少管线长度,降低风管阻力所必需采取的技术措施,做到既降低用电量又不能增加较多的建造费用。

 

(2)合理组织净化空调系统中各种空气过滤器的设置,对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风集中大小控制送风量等。

 

(3)净化空调系统设计应合理利用回风。在产品生产过程不产生有害物或不发生交叉污染时,净化空调系统在保证新鲜空气量和保持洁净室规定的压差值的条件下,为了减少能量消耗,应尽量利用回风。对于换气次数大的单向流洁净室,当空调机房距单向流洁净室较远时,可以采用一部分空气不回机房而直接循环使用,可使能量消耗降低。

 

5、合理进行净化空调系统的风管设计

 

风管布置时应尽量缩短风管长度,减少不必要弯管、附件的设置,简化风管形状,努力降低风管系统的阻力,以减少能量消耗。

 

6、采用变流量控制风量、水量

 

(1)根据检测得到的洁净室内的尘粒数量,或房间压力值控制调节送风量。采用技术措施,有效的控制不工作的生产工序或房间的低送风量。

 

(2)根据生产过程的特点,设置检测、控制房间或设备的排风装置,按需要控制排风量或开停排风机或排风阀。避免房间或设备不生产时仍开启排风机或排风阀,消耗电能和增加不必要的送风量。

 

(3)风机、水泵合理的采用变频机组,根据送风量、供水量的多少,改变风机、水泵的转速,降低电能消耗。

 

(4)净化空调系统的空调机组采用冷水量、热水量或蒸汽量的变频控制。 

 

四、结语 

本文涉及了空气洁净技术中的污染控制方案、方案以及节能方案三方面的内容。我国空气洁净技术发展自60年代开始以来,目前已具各了相当的实力,在某些理论和应用方面已达到了水平。在生活现代化的同时,我们要重视室内空气的品质。通过减少污染、通风、空气净化、消毒、空气成分的调节与控制等措施,可减少室内空气污染,减少疾病,提高人们的生活质量。

 

 

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